MES와 반송 장비간의 I/F를 통한 자동 반송 시스템입니다.
효과적인 구조의 MCS System으로 반송 Traffic의 최소화하고 Smart Trans EI System의 자체적으로 AGV/Stocker의 Status를 관리하여 수리 기간의 장기화가 되어도 정상적인 AGV/Stocker로 운영을 할 수있게 합니다.
Logic RUel을 도입하여 다음과 같은 장점을 보유한다.
- System 구조의 최소화로 유지보수의 간소화.
- Window환경의 구조로 자체 기술력에 의한 유지/보수.
- Network의 개선(Dual Network)으로 Network의 부하 및 위험요소 제거.
- 각각의 MHS 시스템을 통합 관리하는 관리툴 적용(Monitoring Server).
- Fail-Over System을 도입하여 자동으로 System복구 및 운영(Optional)
FUNCTIONALITY
MCS Process(IEI Process, MBS Svr)
- 1반송 장비 I/F
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- Stocker, AGV, EQ에서 발생하는 Status Event MES로 전송.
- MES 또는 MCS UI에서 실행한 Transfer Command를 반송 장비에 전송.
- 2Raw Data Logging
- 하나의 Transfer Command 실행부터 반송 완료까지의 Log를 쉽게 Viewing 기능.
- 3Inventory 관리.
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- Stocker에 Stock In 되어있는 LOT/Cassette를 MCS DB에 저장하고 이를 모니터링.
- Stocker의 실물 LOT/Cassette를 실시간 MCS DB에 저장(주기, Event).
- 4LOT/Transfer Validation.
- MES 또는 MCS UI에서 실행한 Transfer Command를 반송 장비에 전송하기 전 Validation Check (LOT, Status등)를 통하여 불필요한 Command를 Filtering하여 Communication과 장비 부하 방지.
- 5Status/Port Info 관리.
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- Stocker, AGV, Port의 상태를 실시간 MCS DB에 저장하여 이를 모니터링.
- Transfer Command에서 목적지의 상태가 정상이 아닐 경우, 만일 Second 목적지가 있을 경우, 자동으로 Second 목적지로 LOT/Cassette를 반송
- 6Alarm Notification.
- 중요 Alarm 발생 시, 이를 설정된 User에게 e-mail 전송.
Monitoring Server
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System Monitoring Smart Trans EI System이 여러 System일 경우, 각 System의 사용 여부를 모니터링
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Performance Monitoring각각의 Smart Trans EI System의 사용량 (HDD, Memory, CPU등)을 모니터링 하여 특정 System의 과부하를 방지.
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Process Monitoring/RecoveryMCS Process의 실행여부를 Check하여 미 실행 시, Recovery 기능.
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MSMQ Monit
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Log Analysis.특정 LOT/Cassette 또는 Transfer Command에 대한 분석 기능을 통한 에러 원인 파악.
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Report Data Merge. 각 Process에서 실행한 Data (Transfer, Status, Alarm등) Event를 Daily로 Summary.
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Monitoring Client ManagemenLog In User Management, 각의 화면에 대한 Enable/Disable 기능
MCS UI
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MCS ManagementMCS Command조회, 실행 및 취소 기능.
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EI ManagementEI HSMS통신 Status 설정 및 Message 설정 기능.
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EQ Configuration.장비 및 Port 설정 기능.
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AGV Configuration.AGV, EQ-AGV 관계 설정 기능.
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MCS Monitoring.MCS 진행 상태 Monitoring 및 Lot 위치 조회 기능.
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Transfer Route Configuration.MCS Flow Setup Management기능.